Étiquette : EUV

Lithographie optique haut de gamme : de quoi s'agit-il ? La lithographie EUV ressemble à de la science-fiction devenue réalité : des miroirs lisses comme des atomes, une lumière générée par un plasma d'étain et des machines dont le coût dépasse celui d'une flotte de jets privés - tout cela pour graver sur du silicium des éléments d'une largeur de l'ordre du nanomètre. Et pourtant, malgré toute son audace technique, l'EUV est encore...