Kategorie: Metrologie

Das Smartt-Interferometer oder seine Weiterentwicklung, das phasenverschiebende Punktbeugungsinterferometer, ist wahrscheinlich das genaueste, das man herstellen kann, und es ist nicht einmal teuer. Es hat aber auch seine Grenzen, wie zum Beispiel, dass wir einen Fokus brauchen, um eine Referenzwelle mit einer Lochblende zu erzeugen. Wenn der Fokus bei einer hohen numerischen Apertur liegt,...

Die optische Wellenfrontmessung, oder Wellenfrontmetrologie, ist ein großes Thema. In diesem technischen Vortrag werden wir uns auf zwei Themen konzentrieren, die sogar als Gegensätze betrachtet werden könnten: die phasenverschiebende Interferometrie und die Wellenfrontmessung nach Shack-Hartmann. Bei der Phasenverschiebungsinterferometrie kommt es auf die Genauigkeit an, und jeder Nanometer ist von Bedeutung. Geschwindigkeit und Vielseitigkeit sind zweitrangig. Genau das Gegenteil kann für die...