Kategorie: Computergestützte LIthographie

Intro Die meiste Zeit meiner beruflichen Laufbahn in der Optik habe ich mich mit der Simulation der Abbildung von räumlichen Lichtmodulatoren (SLMs) beschäftigt, die mit teilkohärenten Quellen beleuchtet werden. Normalerweise geht das mit der FFT recht schnell, zumindest für ein einzelnes Bild. Manchmal muss man jedoch eine ganze Reihe von Simulationen durchführen. Ein solches Beispiel ist...