Schlagwort: EUV

Optische High-End-Lithografie, worum geht es EUV-Lithografie wirkt wie real gewordene Science-Fiction: Spiegel mit atomarer Glätte, aus Zinnplasma erzeugtes Licht und Maschinen, die mehr kosten als eine Flotte von Privatjets - und das alles, um nanometergroße Strukturen auf Silizium zu ätzen. Und doch ist EUV trotz all seiner technischen Kühnheit immer noch ein...