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EUV e lo stato della litografia
L’alta risoluzione della litografia ottica: cos’è esattamente? La litografia EUV sembra la scienza-fiction resa realtà: specchi con una levigatezza a livello atomico, luce generata da plasma di stagno e macchine che costano più di una flotta di jet privati – tutto per incidere caratteri di dimensioni nanometriche sul silicio. Eppure, nonostante tutta la sua audacia tecnica, l’EUV rimane ancora una tecnologia…