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EUV und der Stand der Lithografie
Optische High-End-Lithografie, worum geht es EUV-Lithografie wirkt wie real gewordene Science-Fiction: Spiegel mit atomarer Glätte, aus Zinnplasma erzeugtes Licht und Maschinen, die mehr kosten als eine Flotte von Privatjets - und das alles, um nanometergroße Strukturen auf Silizium zu ätzen. Und doch ist EUV trotz all seiner technischen Kühnheit immer noch ein...
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Verzerrungsabbildung - Ein SVD HowTo
In diesem Tech-Talk möchte ich erörtern, wie man eine optische Verzeichnungskorrektur entwickelt (und wahrscheinlich auch, wie man sie nicht entwickelt). Es handelt sich um ein häufiges optisches Problem, das mit einem Algorithmus kompensiert werden kann, denn selbst wenn das Bild verzerrt ist, kann es immer noch frei von Wellenfrontaberrationen sein. Ich denke, der Titel verrät es...
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HowTo: Räumliche Lichtmodulatoren
Über diesen Tech-Talk Räumliche Lichtmodulatoren (SLMs) sind aktive optische Komponenten, die die Amplitude, Phase oder Polarisation eines Lichtstrahls verändern können. In diesem Tech-Talk konzentriere ich mich auf eine bestimmte Untergruppe: diejenigen, die dies mit Hilfe eines zweidimensionalen Pixelarrays erreichen. Dies deckt zwar nicht alle Arten von SLMs ab, aber es ist eine ausreichend große und interessante Kategorie, um...
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Ti DLP - Das Arbeitspferd der maskenlosen Lithografie
DLP9000XUV Räumlicher Lichtmodulator