L'application interactive de lithographie est un outil pour explorer les principes de base de la cohérence partielle. L'application nécessite un GPU équivalent à une Nvidia RTX 3060, mais ne dépend pas autrement d'interfaces Nvidia comme CUDA.
L'application Litho est une application WebGPU où nous explorons le calcul GPU. Encore une fois, rappelez-vous que cette application sollicitera votre carte graphique, même les meilleures. Elle peut fonctionner sur un processeur avec des graphiques intégrés, mais ce sera lent. L'application permet à l'utilisateur de modifier interactivement l'illumination et de masquer des objets. Déplacez-les, faites-les pivoter et redimensionnez-les.
But the price for this interactivity is that each tiny change results in hundreds of 1024×1024 fast Fourier transforms being computed. It will not feel interactive without a recent GPU.
Les instructions d'utilisation de l'application se trouvent dans la colonne la plus à droite.
Un détail technique à mentionner, dans une simulation d'image telle que celle-ci, l'ouverture numérique, la taille du masque virtuel et la longueur d'onde définissent la taille de la pupille (échantillonnée). Pour que l'application reste raisonnablement interactive et utile à un public plus large, la taille de la pupille est limitée à 255 x 255 échantillons. Par conséquent, l'application n'acceptera aucune combinaison de ces trois paramètres. Néanmoins, toute combinaison peut être simulée (dans ces limites), mais elle ne peut pas être ajoutée dans n'importe quel ordre.
Par exemple, lors du changement de longueur d'onde (significativement) vers le bas, ajustez d'abord la taille du masque.
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