L'application interactive de lithographie est un outil permettant d'explorer les principes de base de la cohérence partielle. L'application nécessite un GPU équivalent à une Nvidia RTX 3060, mais ne dépend pas autrement d'interfaces Nvidia comme CUDA.
L'application Litho est une application WebGPU où nous explorons le calcul GPU portable. Encore une fois, rappelez-vous que cette application mettra à rude épreuve votre carte graphique, même les meilleures. Elle peut fonctionner sur un CPU avec des graphiques intégrés, mais ce sera lent. L'application permet à l'utilisateur de modifier interactivement l'éclairage et de masquer des objets. Déplacez-les, faites-les pivoter et agrandissez-les.
Mais le prix de cette interactivité est que chaque petit changement entraîne le calcul de centaines de transformées de Fourier rapides de 1024×1024. L'interaction ne sera pas fluide sans un GPU récent.
Les instructions d'utilisation de l'application se trouvent dans la colonne la plus à droite. L'interface utilisateur fournit également un lien vers une vidéo d'instruction.
Une subtilité à mentionner est que, dans une simulation d'image comme celle-ci, l'ouverture numérique, la taille du masque virtuel et la longueur d'onde définissent la taille de la pupille (échantillonnée). Afin de maintenir l'application raisonnablement interactive et utile à un public plus large, la taille de la pupille est limitée à 255 x 255 échantillons. Cela a pour conséquence que l'application n'accepte pas n'importe quelle combinaison de ces trois paramètres. Néanmoins, toute combinaison peut être simulée (dans ces limites) ; elle ne peut simplement pas être ajoutée dans n'importe quel ordre.
Par exemple, lors du changement de longueur d'onde (significativement) vers le bas, ajustez d'abord la taille du masque.
La litho-app prend également en charge un modulateur de lumière spatial modelé sur le SLM à miroir basculant de Fraunhofer IPMS. Cet appareil offre bien plus d'options d'utilisation qu'il n'en a été exploité dans cette application, mais il reste encore quelques propriétés fondamentales liées à la génération d'images avec des SLM qui peuvent être explorées avec cette application.
The “Exposure Parameter” field shows two sliders: Exposure and Contrast.
Le contraste représente une mise à l'échelle par rapport à un point d'inflexion, et ce point d'inflexion est l'inverse du paramètre d'exposition.
Avec cette paramétrisation, l'Exposition peut être considérée comme une dose relative à la dose d'effacement d'une résine et, bien qu'elle ne représente en aucun cas une simulation de résine, avec un réglage de Contraste élevé, elle offre un certain aperçu de l'aspect que le résultat pourrait avoir une fois exposé dans une résine à haut contraste.
L'échelle va de 2, qui est la dose relative correcte pour une exposition incohérente, à une valeur suffisamment grande (dans notre cas 10) pour rendre le résultat principalement binaire avec une région de transition étroite. La valeur d'exposition correcte pour l'illumination cohérente et les résistes à haut contraste est 4, comme expliqué dans le Tech-talk sur Introduction to Goodman’s Graphical Methods.. et la valeur par défaut est proche de celle que l'on obtiendrait pour un éclairement partiellement cohérent.
Amusez-vous – et comme toujours, Commentaires est apprécié.
L'application a été mise à niveau avec une Transformée de Fourier Rapide nettement plus rapide, et nous prévoyons des exigences matérielles minimales considérablement réduites. Tous les retours sur l'expérience utilisateur sont les bienvenus.